�ձ�RIKEN KEIKI���й̶�ʽ���w̽�y�� GD-70Dϵ�У�GD-70D-EA (O2)
�ձ�RIKEN KEIKI���й̶�ʽ���w̽�y�� GD-70Dϵ����GD-70D-EA (O2)
�ձ�RIKEN KEIKI���й̶�ʽ���w̽�y�� GD-70Dϵ�У�GD-70D-EA (O2)
�ձ�RIKEN KEIKI���й̶�ʽ���w̽�y�� GD-70Dϵ����GD-70D-EA (O2)
�̶�ʽ���w̽�y��
?
GD-70Dϵ��
?
GD-70D
?
����
?
GD-70Dϵ����һ�N���w�z�y̽�^�����ڙz�y�ж����w������Ͱ댧(d��o)�w��Һ�����S�Ȯa(ch��n)���Ŀ�ȼ�Ԛ��w��
ͨ�^����������������ú��㲿���Ļ������ѽ�(j��ng)��(sh��)�F(xi��n)�˜p�٭h(hu��n)��ؓ(f��)�ɡ�
?
?
|
��ӷ���
|
��˱��/����
|
|
�z�yԭ��
|
���մɴ������댧(d��o)�w������z�Ͱ댧(d��o)�w�����Ƿ�ɢ�t�ⷨ���λ늽ⷨ��Ĥ��ԭ늳ط������-�w���z�y��
|
|
����(b��o)���
|
���w��(b��o)��/���ψ�(b��o)��
|
|
�@ʾ����(b��o)
|
1��ALM1 ���������tɫ�� 2��ALM2 ���������tɫ��
|
|
��������
|
�Ƿ������o(h��)
|
|
CE�J(r��n)�C
|
늴ż����� / ����ʹ���к����|(zh��)
|
|
�Դ
|
24 VDC��10 %
|
|
�S��
|
�s 70 (��) x 120 (��) x 145 (��) ����
|
|
����
|
�s0.9����
|
|
�����ضȷ���
|
0 �� 40 �棨�o����׃����
|
|
������ȷ���
|
30%��70%������ȣ��o������
|
Ŀ��(bi��o)���w
1-C6H12, ALD, AsH3, B2H6, Br2, BTBAS, C10H22, C2F4, C2H2, C2H2CL2, C2H4, C2H4O2, C2H5OH, C2H6, C2HCL3, C3F6, C3H6, C3H6O, C3H8, C4F6, C4H6, C5F8, C5H5N, C5H8O, C6H12, C6H12O3, C7H8, C8H16, C8H18, CH2CL2, CH2O2, CH3CN, CH3OH, CH3SiH3, CH4, CL2, CLF3, CO, COF2, COS, CTFE, D2, DEA, DEMS, DMA, DMAC, DMDMOS, DMF, EDC, EMA, EO, EtAc, F2, GeH4, H2, H2O2, H2S, H2Se, HBr, HCL, HCN, HF, HFE7200, Hhfac, HI, HMDS, HMDSO, HNO3, i-C4H10, i-C4H8, I2, IPA, LAE, LPG, MMtA, n-C6H14, N2H4, N2O, NF3, NH3, NMP, NO, NO2, O2, O3, OK-73, OMCTS, PF3, PGMMEAc, PH3, QMS, R-123, R-134a, R-152A, R-245fa, R-32, R-407E, R-41, R-410A, Si2H6, Si3H9N, SiH4, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMA, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS, VCM, VDF
?
?RIKEN KEIKI GD-70���ձ����й�˾���a(ch��n)�Ĺ̶�ʽ���w�z�y�x����Ҫ�����ж����w���ȼ?x��)��w�Č�(sh��)�r(sh��)�O(ji��n)�y?��֧�ֶ�N�������M���m����
?
���ą���(sh��)
�Դ��DC24V��10%
�����ضȣ�0-40�棨�o����׃����
�����ȼ���ExdibIICT6Gb��������̖��
���o(h��)�ȼ���IP65��������̖��
���γߴ磺�s70��120��145mm������ͻ�֣�
�������s0.9kg�����������M����
�������c(di��n)
�z�y��ʽ������ʽ�������ʽ��0.5L/min��10%��
��(b��o)����ͣ����w��(b��o)�������ψ�(b��o)�����p�tɫLED��
�@ʾ��LCD�@ʾ���w�������(b��o)���O(sh��)��ֵ��
ͨ�ţ�֧��DC4-20mAݔ����LONWORKS�f(xi��)�h
�m�������
�Ȼ��䣨HCl����0-100ppm���ֱ���25ppm��
���⣨O?����0-25vol%���ֱ���18vol%��
���仯�飨AsH?����0-0.2ppm���ֱ���5ppb��
��⣨H?����0-2000ppm���ֱ���500ppm��
