ENTEGRIS���w�^�V����WG2F02RR2��WG2F02RR4��WG2F32PS1

ENTEGRIS���w�^�V����WG2F02RR2��WG2F02RR4��WG2F32PS1

ENTEGRIS���w�^�V����WG2F02RR2��WG2F02RR4��WG2F32PS1

ENTEGRIS���w�^�V����WG2F02RR2��WG2F02RR4��WG2F32PS1

?

?Wafergard?II?F?Mini?XL?�ھ����w�^�V��

�ښ��w��塢���w��;��A�ӹ���Ҫ�������w���κεط��M(j��n)��׿Խ���w���^�V��

�o�����b�Üp���˚�������wռ����e����(ji��)ʡ�ˌ��F���O(sh��)����g
PTFE?Ĥ�ṩ��Ч�^�V����߮a(ch��n)Ʒ�a(ch��n)��
�͉��������˵����≺���w�������L(f��ng)�U(xi��n)
�c����e�İ댧(d��o)�w��ˇ���w���г�ɫ�ļ�����
���ڶ��Ժͷ���(y��ng)�Ԛ��w����������
?��(y��ng)��
Wafergard?II?F?Mini?XL?�ھ����w�^�V����(y��ng)��
������(y��ng)����w��
ú���
�������wϵ�y(t��ng)
�y�M��
���w���
�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��
���� �Vо ��ģ��?PFA?�Y(ji��)��(g��u)֧�ε���ˮ?PTFE?Ĥ
ס�� 늒���?316L?���P�
�����坍�� ���� <0.03?�w��/����<1?�w��/ft?3)?>0.01��m
�]�l(f��)�� <10?ppb?ˮ��
�Ƴ��ȼ� 0.0015?΢�� ?
����̎���(n��i)�� ��10?��in?Ra ?
��й©�ȼ� �ϸ�� 2?��?10?-10?atm/cc-sec
��(j��ng)�^�yԇ 1?��?10?-9?atm/cc-sec
��ȷֱ��� ��0.015?ppm
�\(y��n)�Зl�� �����ډ����� 20.7?������207?����3000?��/ƽ��Ӣ�磩@?23��C?(73��F)
������򉺲 0.4?MPa?(4?bar;?60?psid)?@?23��C?(73��F)
��󉺲 0.07?MPa?(0.7?bar;?10?psid)?@?23��C?(73��F)
��߹����ضȣ� 120��C?(248��F)
�w������ ����?99.9999999%?(9?LRV)?��?100?slpm?��ȥ�������w����������ߴ�͸�Ե��w���ߴ磩
�����ȼ� �������ܔ�(sh��)��(j��) ?
?���̖
Wafergard?II?F?Mini?XL?�ھ����w�^�V������̖
���̖ ���^�ߴ����� �L��
WG2F02JJ2 1/4"?������ 133.4?���ף�5.25?Ӣ�磩
WG2F02JJ4 1/2"?������ 133.4?���ף�5.25?Ӣ�磩
WG2F02PS1 1/4"?���s�ܷ⣨�c������˽��^���ݣ����ݼy���/���� 115.5?���ף�4.55?Ӣ�磩
WG2F02RR2 1/4"?�|Ƭ�ܷ⣨�c?VCR?���^���ݣ����ݼy���/���� 127.0?���ף�5.00?Ӣ�磩
WG2F02RR4 1/2"?�|Ƭ�ܷ⣨�c?VCR?���^���ݣ����ݼy���/���� 133.4?���ף�5.25?Ӣ�磩
WG2F32PS1 3/8"?���s�ܷ⣨�c������˽��^���ݣ����ݼy���/���� 119.3?���ף�4.70?Ӣ�磩

?

������Ʒ