Wafergard? III ɢ�b�ھ����ٚ��w�^�V����SI2N0100B��ENTEGRIS

�m�������й�ˇ���w����^�VĤ
�ṩ��N�������ԝM��͑��İ��bҪ��?
���ṩ?0.0015?��m?�^�V���g(sh��)���ԝM�㳬�������ښ��wݔ�͵����������
��(y��ng)��
Wafergard?III?ɢ�b�ھ����ٚ��w�^�V����(y��ng)��
������Ȼ���r(n��ng)���ʹ����طN���wϵ�y(t��ng)?(BSGS)
���߼����w�ܾ�
�ߜؑ�(y��ng)��
�¹��S���O(sh��)��/�������F(xi��n)���^�V��

Ҏ(gu��)��

�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��

���� �Vо ���Y(ji��)�Ĥ�^�V��

ס�� 늒��� VAR 316L ���P�

�Ƴ��ȼ� 0.0015 ΢��

����̎���(n��i)� <10 ΢Ӣ�� Ra

�����坍�� <0.03 �w��/����<1 �w��/ft 3�� >0.01 ��m

��й©�ȼ� 1 x 10 -9��≺��������/��

�������l�� ����������� 50 �ͣ�725 ��/ƽ��Ӣ�磩SI2N0010R��SI2N0025R

31 �ͣ�450 ��/ƽ��Ӣ�磩SI2N0050R��SIN0100B��SI2N0200B��SI2N0200R

�������/���򉺲 5.2 �ͣ�75 ��/ƽ��Ӣ�磩

�ڶ��Ԛ��w�е���߹����ضȣ� 200��C (392��F)

�w������ ���� 99.9999999% (9 LRV) ������~��������ȥ�������w��������ߴ�͸�Ե��w���ߴ�酢����

??���̖