��(y��ng)�ظ��^�V����ENTEGRIS,WG3NS3FF2��WG3NS3FR2��WG3NS3JJ2��

ENTEGRIS��(y��ng)�ظ��ھ����w�^�V����WG3NS6RR2��MRO�F(xi��n)؛�ԠI

ENTEGRIS��(y��ng)�ظ��ھ����w�^�V����WG3NS6RR2��MRO�F(xi��n)؛�ԠI

ENTEGRIS��(y��ng)�ظ��ھ����w�^�V����WG3NS6RR2��MRO�F(xi��n)؛�ԠI

?

?Wafergard?III?NF-30?�ھ����w�^�V��
�鳬�����wϵ�y(t��ng)�^�V�ṩ׿Խ��΢���^�V��

ȫ���ٽY(ji��)��(g��u)�ṩ���坍�����Ч��ȫ�����^�V��
�@�Ì�������^�VĤ���г�ɫ���͸��g�Ժͳ�ɫ�Ļ��W(xu��)������
��(chu��ng)�µ��⚤�O(sh��)Ӌ(j��)�����������ŚⲢ�p�ٸ���r(sh��)�g
�ߜغ̈́�(d��ng)�B(t��i)������(y��ng)�õ������x��
ͨ�����ڸ��_(d��)?30?slpm?������
��(y��ng)��
Wafergard?III?NF-30?�ھ����w�^�V����(y��ng)��
���ښ��wݔ��
���
���e
�ɷ��g��
�x��ע��
ע�⣺�����h�c?CO��O?3�͵ͺ����仯��s�����wһ��ʹ����
�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��
���� �VĤ �@�Ì����ğ��Y(ji��)�
ס�� 늒���?F20?���P�
�����坍�� ����* <0.03?��(g��)�w��/��?(<1?��(g��)�w��/ft?3?)?>0.01?��m
�]�l(f��)��** H?2?O��O?2��?THC?�ē]�l(f��)��ጚ���ڿəz�y�ޣ����Ҝ���ͨ�^?RGA?��?FID��
�Ƴ��ȼ�(j��) ��0.0015?��m
����̎���(n��i)�� ��5?��in?Ra
��й©�� �ϸ�� 2x10?-10??atm?cc/��
��(j��ng)�^�yԇ 1x10?-9??atm?cc/��
������l�� �����ډ����� 70?bar?(1000?psi)?@?100��C?(212��F)
�������/���򉺲 10?��?(150?psid)
��߹����ض� ���Ԛ��w 35?bar?(500?psi)?�r(sh��)?400��C?(752��F)
���g�Ժͷ���(y��ng)�Ԛ��w 50��C?(122��F)?��?70?bar?(1000?psi)
���ކ� 5��
�w������ ��?30?slpm?�r(sh��)�����w����ȥ���ʴ���?99.9999999%?(9?LRV)
��?75?slpm?�r(sh��)�����w����ȥ���ʴ���?99.9999%��������ߴ�͸�Ե��w���ߴ磩
���� ������������
*�w���坍�ȷ���?SEMASPEC?�w��Ó��yԇ����?(#93021511A-STD)
**�]�l(f��)���坍�ȷ���?SEMASPEC?�yԇ������THC?ؕ�I(xi��n)?(#90120396B-STD)��ˮ��ؕ�I(xi��n)?(#90120397B-STD)������ؕ�I(xi��n)?(#?90120398B-STD)
���̖(h��o)
Wafergard?III?NF-30?�ھ����w�^�V������̖(h��o)
���̖(h��o) ���^�ߴ����� �L��
WG3NS3FF2 1/4"?�|Ƭ�ܷ⣨�c?VCR?���^���ݣ���(n��i)�ݼy���/���� 58.4?���ף�2.30?Ӣ�磩
WG3NS3FR2 1/4"?�O���|Ȧ�ܷ⣨�c?VCR?���^���ݣ���(n��i)�ݼy���/���ݼy���� 71.1?���ף�2.80?Ӣ�磩
WG3NS3JJ2 1/4"?��(du��)���� 28.4?���ף�1.12?Ӣ�磩
WG3NS3RF2 1/4"?�O���|Ƭ�ܷ�����c?VCR?���^���ݣ����ݼy���/��(n��i)�ݼy���� 71.1?���ף�2.80?Ӣ�磩
WG3NS6RR2 1/4"?�|Ƭ�ܷ⣨�c?VCR?���^���ݣ����ݼy���/���� 84.1?���ף�3.31?Ӣ�磩

WG3NS6SL2 1/4"?�|Ƭ�ܷ⣨�c?VCR?���^���ݣ����ݼy���/�������̰� 58.7?���ף�2.31?Ӣ�磩

?