���� Entegris Ӣ�ظ� WG3NS8RR2 ֱͨʽ���w�^�V��Micro XL

�鳬�����wϵ�y(t��ng)�^�V�ṩ׿Խ���w���^�VЧ�����Ǹߜغ̈́ӑB(t��i)�������õ������x����

�����M���⚤�M��ͨ�^��С��������e�������Ś�
ȫ���ٽY���dz��m�ϸߜغ̈́Ӊ�����
�o���ijߴ���`�������x����ṩ�K�O���OӋЧ�ʲ�����޶ȵؽ��͹��̳ɱ�

?

����?? ?�Vо?? ?���Y�Ĥ�^�V��
??? ?ס��?? ?늽⒁�� VAR316L ���P��⚤
�����坍��?? ?����?? ?<0.03 �w��/�� (<1 �w��/ft 3 ) >0.01 ��m?? ?
??? ?�]�l(f��)��?? ?H 2 O��O 2�� THC �ē]�l(f��)��Ó����ڿəz�y��ֵ�����Ҝ���ͨ�^ RGA �� FID��
ȥ���ȼ�?? ?��0.0015΢��
����̎���(n��i)��?? ?��5��in Ra
����й©�ȼ�?? ?�ϸ��?? ?2 �� 10 -10 atm-cc/����
??? ?�ќyԇ?? ?1 �� 10 -9 atm-cc/�롣
�������l����?? ?�����ډ���?? ?20��C (68��F) �r�� 20 MPa��200 bar��2900 psid��
??? ?�OӋ����?? ?20��C (68��F) �r�� 20 MPa��200 bar��2900 psid��
??? ?�������/���򉺲�?? ?1 ������10 ����150 ��/ƽ��Ӣ�磩
??? ?��߹����ض�?? ?���Ԛ��w?? ?400��C (725��F) @ 35 �� (500 psi)
??? ? ?? ?���g�Ժͷ����Ԛ��w?? ?50��C (122��F) @ 70 �� (1000 psi)
���ކ�?? ?5��
�w������?? ?15 slpm �r�����w����ȥ���ʳ��^ 99.9999999% (9 LRV)
�����ȼ�?? ?�������ܔ�(sh��)��(j��)

?