����MKS 640B ���ɽ^��������������640B-29652�F(xi��n)؛6�_

?�a(ch��n)Ʒ?�������������y�T?����������?�������κ����Ή���������?640B?���ɽ^������������
640B?���ɽ^������������
�a(ch��n)Ʒ
?
�����x�
?
�YԴ
?
“(li��n)ϵ�҂�
640B?�^��������������һ�����������o�����]�h(hu��n)��Ӊ�������ϵ�y(t��ng)������һ��?Baratron?��݉���Ӌ�����]���������y���]�h(hu��n)��������O����640B?��늚ⷽ������ژ˜�?MFC����?��15?VDC?��늣�����H��?200?mA�����S�c�˜��Դ���@ʾ����O��һ��ʹ��������ݔ����ݔ�������̖�龀��?0-5?��?0-10?VDC���ɂ���?LED?��B(t��i)ָʾ������׃�c�������ε��_/�P(gu��n)�^��������

����?Baratron?��݉���Ӌ���g(sh��)
�͉��^�̵ĝM���̷�������?10?Torr
���c���λ����ο��������ó���һ��ʹ��
�����^�����ƿ��Ƶăɂ����|�l(f��)�c

?

?���^ģ�͈D����CAD?��Ҏ(gu��)�����������ٿ����ԃr��640B11TW1M12M�^��������������10?Torr��200?sccm��4?VCR-M�������ܷ⣬�����y��??10��200?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B11TW1M12V�^��������������10?Torr��200?sccm��4?VCR-M�������ܷ⣬Viton?�y��??10��200?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B11TW1M22M�^��������������10?Torr��1000?sccm��4?VCR-M�������ܷ��������y��??10��1000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B11TW1M22V�^��������������10?Torr��1000?sccm��4?VCR-M�������ܷ���Viton?�y��??10��1000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B11TW1M32M�^��������������10?Torr��5000?sccm��4?VCR-M�������ܷ⣬�����y��??10��5000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B12TW1M12M�^��������������100?Torr��200?sccm��4?VCR-M�������ܷ��������y��??100��200?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B12TW1M22M�^��������������100?Torr��1000?sccm��4?VCR-M�������ܷ��������y��??100��1000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B12TW1M22V�^��������������100?Torr��1000?sccm��4?VCR-M�������ܷ⣬Viton?�y��??100��1000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B12TW1M32M�^��������������100?Torr��5000?sccm��4?VCR-M�������ܷ��������y��??100��5000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B12TW1V12V�^��������������100?Torr��200?sccm��4?VCR-M��Viton?�ܷ����Viton?�y��??100��200?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B12TW1V22V�^��������������100?Torr��1000?sccm��4?VCR-M��Viton?�ܷ����Viton?�y��??100��1000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B12TW1V32V�^��������������100?Torr��5000?sccm��4?VCR-M��Viton?�ܷ����Viton?�y��??100��5000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B13TW1M12M�^��������������1000?Torr��200?sccm��4?VCR-M�������ܷ��������y��??1000��200?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B13TW1M22M�^��������������1000?Torr��1000?sccm��4?VCR-M�������ܷ⣬�����y��??1000��1000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B13TW1M32M�^��������������1000?Torr��5000?sccm��4?VCR-M�������ܷ��������y��??1000��5000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B13TW1V12V�^��������������1000?Torr��200?sccm��4?VCR-M��Viton?�ܷ����Viton?�y��??1000��200?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B13TW1V22V�^��������������1000?Torr��1000?sccm��4?VCR-M��Viton?�ܷ����Viton?�y��??1000��1000?�˜���������
“(li��n)ϵ�҂�
?����640B13TW1V32V�^��������������1000?Torr��5000?sccm��4?VCR-M��Viton?�ܷ����Viton?�y��??1000��5000?�˜���������

?

?����640B�^���������������]�h(hu��n)��640B
?����
Ҏ(gu��)��
���
640B?�^��������
��������
10��100��1000?mmHg���У���60��100?psi���M���̣�
������
4?VCR��8?VCR��0.25?Ӣ��ܻ�����N�b
����
50��200��1000��5000��10000��20000��50000?sccm��N2?�Ę˷Q�M������������ډ�����?15?psig�����ډ������≺��
���l�c
�ɂ���늘O�_·���w��
�~��ֵ��250?mA?@?30?VDC
���{(di��o)���M���̵�?1?��?100%
�t�����M���̵�?3%
ָʾ�������ӕr�Gɫ?LED?����
�������ƾ���
�M���̵�?��0.2%
��������������
45?psia?��?2x?�M���������^���ߞ��
��󉺲�
20,000?��?50,000?sccm?�׿ڞ�?30
psi?50?��?10,000?sccm?�׿ڞ�?150?psi
���c��������������һ�£�
���Ʒ�ʽ
���Θ˜ʣ����ο��x
�����y������
�x��(sh��)��?��0.5%���������Զ����t���Ϳ��؏��ԣ�
��ض�ϵ��(sh��)
��λ���M�̶ȵ�?��0.02%/��C
��Ȝض�ϵ��(sh��)
��ȣ��x��(sh��)��?��0.04%/��C
���Ʒ���
>2?��?100%?�ĝM����
����푑��r�g
<1.0?�루������ϵ�y(t��ng)�r�g����(sh��)��
�����ض�
0?-?50��C��32��?��?122��F��
����ض�
-20?��?80��C��-4��?��?176��F��
�ⲿй©������
<10?-9?scc/��?He
ͨ�^�P(gu��n)�]���y�Tй©������
�����w�y��<10?-4?sccc?He
�����y��<1%?�M����?(N2?@?1?atm.?��P)
Kel-F?�y��<0.5%?�M����?(N2?@?1?atm.?��P)
��ͨ�^�P(gu��n)�]�y�T��*
��Һ����
�˜ʣ�316L?SS��316L/VAR?SS���t��F�Ͻ��
���x��Viton��Kalrez��Kel-F
�����Դ
��15?VDC?��5%�����?200?mA
�B�����ӿ�
15?ᘹ��^��D����
�x��푑��r�g
<100?����
���l�ɔ_�`����
SAMA?33.1��1-abc��<�M���̵�?0.2%
ݔ��ݔ����̖
0-5?VDC?�˜ʣ�0-10?VDC?���x
��|�L��
���?100?Ӣ��?(30?m)
����
2.54?������1.15?���
����
1.5?Ӣ�磨38.1?���ף�x?4.88?Ӣ�磨124?���ף���4?VCR��x?5.50?Ӣ�磨140?���ף����
����
CE�J�C

?