���������ɿ�����(w��n)�����طN���w̽�y����̽�y40��N���w
���B�m(x��)���r�O(ji��n)��
�����������Q���
���O(sh��)�����Cͨ���ԏ�
���\�гɱ���
���S�o(h��)�ɱ���
����N��(bi��o)��(zh��n)��̖ݔ��
���������\���
��̽�y���w���
SIH4/PH3/HF/NH3/HCL/BCL3/H2/ASH3/HCN/B2H6/CO/GeH4/H2S/NH3/O2/TMB/TMP/TEOS/CH2F2/O3...
?
��(y��ng)�÷�����
����ƿ��
���y��
�����a(ch��n)�C�_
���h(hu��n)���c
����ƿ������
��ԭʼ�����������O(sh��)��
?
?
���늻��W(xu��)���І�Ԫ�Ě��w̽�y
���|(zh��)/������?���������̖�a?�~������?���]
AsH3?�黯�䣨3?늘O�� 9602-6001 0 ... 1.00 ppm
AsH3?�黯�䣨2?늘O�� 9602-6000 0 ... 1.00 ppm?���⑪(y��ng)��
AsH3?�黯�䣨2?늘O�� 9602-6002 0 ... 10.0 ppm?���⑪(y��ng)��
B2H6?������?9602-6200 0 ... 1.00 ppm
Br2?���?9602-6800 0 ... 5.00 ppm
Cl2?�Ț�?9602-5300 0 ... 5.00 ppm
ClF3?��������?9602-7410 0 ... 1.00 ppm
ClO2?��������?9602-7400 0 ... 1.00 ppm
CO?һ����̼?9602-5400 0 ... 500 ppm
COCl2?���?9602-6600 0 ... 1.00 ppm
F2?����?9602-6400 0 ... 5.00 ppm
GeH4?�N��?9602-6900 0 ... 5.0 ppm
H2?���?(1%) 9602-5100 0 ... 1.000 % vol.
H2?���?(4%) 9602-5101 0 ... 4.00 % vol.?��������
H2S?��?9602-5200 0 ... 100 ppm
H2S?�䣨�ЙC�� 9602-5201 0 ... 30.0 ppm?���⑪(y��ng)��
H2Se?������?9602-5600 0.00 ...5.00ppm
HBr?�廯��?9602-7000 0 ... 30.0 ppm
HCl?�Ȼ���?9602-5800 0 ... 30.0 ppm
HCN?�軯��?9602-5700 0 ... 30.0 ppm
HF?������?9602-6500 0 ... 10.0 ppm
HMDS?������������?9602-6715 0 ... 0.500 % vol.
HMDS?������������?9602-6714 0 ... 500 ppm
N2H4?(li��n)��?9602-7600 0 ... 1.00 ppm
NH3?����?100ppm 9602-6704 0 ... 100 ppm?��(bi��o)��(zh��n)
NH3?����?1000ppm 9602-6705 0 ... 1000 ppm?��(bi��o)��(zh��n)����������
NO?һ������?9602-7200 0 ... 250 ppm
NO2?��������?9602-7300 0 ... 25.0 ppm
O2?����?9602-5500 0 ... 25.0 % vol.
O3?����?9602-7100 0 ... 1.00 ppm
O3?����?9602-7101 0 ... 1.00 ppm?�Ś�O(ji��n)��
PH3?���䣨2?늘O�� 9602-6100 0 ... 1.00 ppm?���⑪(y��ng)��
PH3?���䣨3?늘O�� 9602-6101 0 ... 1.00 ppm
SiH4?����?9602-6300 0 ... 50.0 ppm
SO2?��������?9602-5900 0 ... 25.0 ppm
TEOS?����������?9602-7500 0 ... 100 ppm
TMB?����������?9602-7510 0 ... 200 ppm
TMP?������������?9602-7800 0 ... 30.0 ppm
?
����ȼ?x��)��w�������Ě��w̽�y
���|(zh��)/������?���������̖�a?�~������?���]
CH4?����?9602-9900 0 ... 100 LEL?�H��?Satellite C/��(bi��o)��(zh��n)
CH4?����?9602-9901 0 ... 100 LEL?�H��?Satellite C
CH4?����?9602-9902 0 ... 100 LEL Sat-Ex C?�汾
CH4?����?9602-9903 0 ... 100 LEL Sat-Ex C?�汾
CH4?����?9602-9905 0 ... 100 LEL Sat-Ex C?�汾
?
���ѽ�ģ�K?XT
���늻��W(xu��)���І�Ԫ�Ě��w̽�y
���|(zh��)/������??????���������̖�a???�~������????���]
C4F6?��������̼????9602-9732 ????0.....50.0 ??ppm
C5F8?�˷��h(hu��n)��ϩ???9602-9730 ?????0 ... 20.0 ??ppm
CH3F?������???????9602-9720 ?????0 ... 0.500 ?% vol.
DCE 1,2?������ϩ???9602-9600 ?????0 ... 1000 ?ppm
NF3?��������???????9602-9700 ????0 ... 50.0 ??ppm
SF6?��������??????9602-9710 ?????0 ... 0.500 ??% vol.
