Ӣ��Edwards��ձ�(�Ї��^(q��))�I(y��)��Edwards��1939���_ʼ��������O(sh��)�䵽�F(xi��n)�����ڹ����led�ИI(y��)��(y��ng)�ÏV����Ҳ�ǰ댧(d��o)�w��ƽ���@ʾ����̫���늳������������������Ϳ�ӑ�(y��ng)�á�䓺�����ұ������ˎ�ͻ��W(xu��)�����^���в���ȱ�ٵ�һ�����������ṩ���缉(j��)����ս�Q������
Edwards������տƼ��Ĵ����~�����^ȥ��100�������҂�ʼ�K�������ṩ��(chu��ng)�µ���ձú�β��̎��ϵ�y(t��ng)�Ľ�Q��������(y��ng)���ڸ��N�ИI(y��)���Č�(sh��)�(y��n)�ҵ������İ댧(d��o)�w���I(y��)�ИI(y��)���Լ����d��̫��ܺ���������ИI(y��)��
�҂�Ŭ�����������\(y��n)�гɱ�������������a(ch��n)Ч�ʺͮa(ch��n)Ʒ�|(zh��)�����҂��ṩ��(y��u)�������Ʒ�|(zh��)�͟o�ɱȔM�ļ��g(sh��)֧�ַ���(w��)����ͨ�^�҂���ȫ�����(w��)�W(w��ng)�j(lu��)�����a(ch��n)Ʒ�ƏV��ȫ������
EDWARDS�۵��A��ձ��Ը��g(sh��)����(sh��)
һ��XDϵ�иɱã��u���ã�
���ǻ��(n��i)�o������֬�Ķ��_���o��Ⱦ��ʹ�É������L���S�o(h��)���٣���(qi��ng)���ˮ����̎��������XDϵ�Мu����������4.8-35m3��h���O�����10-2mbar��
����IDXϵ�иɱã�צ�ã�
�۵��A�ɱ����Ј��ϴ��ɱõ��I(l��ng)��(d��o)����ͬ�r(sh��)Ҳ�猢�ɱÑ�(y��ng)�Ð��ӭh(hu��n)����IDXϵ�иɱó���1000-1300m3��h���O�����10-2mbar
�����C(j��)е�ã��ͷ���Ƭ�ã�
EDWARDS�Ƴ������һ�_(t��i)�pģʽRVϵ����ձ����䪚(d��)�ص��pģʽ��ʽʹԓ�����ܪ�(d��)������ո������w�o������������ RVϵ�бõ���շ����Ĵ�≺���s0.002mbar�������3-12 m3��h�� EMϵ����ձþ��нY(ji��)��(g��u)�o��������С�������������ضȵ����c(di��n)�������0.6-275m3��h���O�����0.002mbar
�ġ����ӱ�
�۵��A��˾�Ĝu�S���ӱ���һ�׳�����������յ��b�����������D(zhu��n)�ٶȸ��_(d��)90000RPM��1500�D(zhu��n)���룩���γɵij���նȿ��Ե͵�5x10-10Pa���£�ʮ�|��֮����(g��)��≺�����������O(sh��)Ӌ(j��)�o�����w�eС�������p����Ҫ�Ѓɂ�(g��)ϵ�У�STP��EXT����Ҫ�^(q��)�e��EXTϵ�еĻ��D(zhu��n)�S�����մɵģ���STPϵ�еĻ��D(zhu��n)�S�����ô��Բ����Ƴɵ���
�����_Ɲ��
EDWARDS��ȫ�����Ƴ��߳��ٵ��_�ıã������ʏ�240m3��h��4500m3��h���O�����10-3mbar���ڵ�������кܺõij������������ʽ���ʽ��ʹ��
�������Ӌ(j��)
�۵��A���Ӌ(j��)�y��������2000-10-11mbar����(n��i)�O(sh��)���M(j��n)��̎����������
�۵��A��ձù��ܺ̓�(y��u)��
���M(j��n)���͉���·���ṩ��Ч�ĝ�������ʹ���ڸߚ��wؓ(f��)���£�
��(d��ng)���P(gu��n)�]�r(sh��)������ʽ�����y���ṩ�ͺͿ՚ⷴ�����o(h��)
���(zh��n)���ƿɎ���̎����ˮ����ؓ(f��)��
����(d��ng)�S�U�ϰ��b�й��I(y��)��(j��)�L���S�����ɿ��ԘO����ʹ�É����͟o���Ϲ����r(sh��)�gҲ���L
ͨ�^ȫ�߶���Ʒ�^�촰�ɷ���ؙz����λ�����P(gu��n)��r
�^����̖(h��o)�ϰ��b�ОV�͙C(j��)��B(t��i)ָʾ�������������Q�V�͙C(j��)
�����M(j��n)��ڷ���������Ҫ�r(sh��)���b�C(j��)е������
�҂��ṩ��ݵľS������������H�͑��ṩ֧�ַ���(w��)���S�o(h��)����
�ṩ�˸��N�������ɝM�����đ�(y��ng)������
�ú������������(g��)�����ṩ��Ҳ������������ϵ�y(t��ng)������(j��ng)�^���S�yԇ�ĽM���ṩ��
EDWARDS�۵��A��ձÑ�(y��ng)��
���ұ��ӹ�
��Ĥ���Ӽ��g(sh��)
��ˎ�������
����Ϳ��{(di��o)ϵ�y(t��ng)���������ͻ���
׃��������|���Ｐ���n���^����̎�����S
��������
�͜��������
�����ИI(y��)�е���ո�������s
�댧(d��o)�w�O(sh��)������
���ڸ���Ց�(y��ng)�õ�ǰ��(j��)��