氣體過濾器
鎳、不銹鋼、合金-22 和聚四氟乙烯過濾技術(shù)。Entegris超純氣體過濾產(chǎn)品為超純氣體應(yīng)用提供0.0015微米的顆粒過濾。
氣體過濾器在減少氣體箱整體尺寸的同時(shí)，使過程氣體的通量更高。
精選白皮書
消除不需要的氧氣：從源頭防止設(shè)備故障
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視頻氣體過濾的歷史Rob Zeller，研究工程師，解釋了什么是氣體過濾器，氣體過濾的歷史，以及它們?nèi)绾伪灰胄枰獓?yán)格清潔規(guī)格以保持生產(chǎn)力和產(chǎn)量的高端半導(dǎo)體芯片制造應(yīng)用中。
其他氣體過濾器Wafergard
GN氣體過濾槍是一種易于使用、輕便的POU（使用點(diǎn)）解決方案，用于控制氣體污染。過濾元件是Entegris公司獨(dú)家設(shè)計(jì)，用于各種半導(dǎo)體工藝。
在線PTFE氣體過濾器我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾，以最小化壓力降并最大化過濾器壽命。可選擇Wafergard
和Linegard
在線氣體過濾器。
在線不銹鋼氣體過濾器Entegris的在線不銹鋼氣體過濾器專為高壓和高溫應(yīng)用設(shè)計(jì)。它們易于安裝，無需進(jìn)行設(shè)計(jì)更改。
在線鎳氣過濾器Entegris的超純鎳過濾器是高壓、高溫應(yīng)用中清潔度和效率最高的氣體過濾產(chǎn)品。
表面貼裝氣體過濾器提供不銹鋼或鎳過濾元件，Wafergard 氣體過濾器提供終極過程保護(hù)、優(yōu)越的耐腐蝕性和與惰性、氫化物和反應(yīng)性氣體的出色兼容性。
表面貼裝設(shè)計(jì)節(jié)省氣體面板的空間，減少零件庫存和差異。我們的表面貼裝氣體過濾器產(chǎn)品組合包括C密封1.125英寸和W密封1.125英寸或1.5英寸格式。
在線合金-22氣體過濾器Wafergard
IV合金-22（通常以品牌名稱HASTELLOY
C-22
合金稱呼）過濾器是適用于腐蝕性和超純環(huán)境的最清潔、最高效、全金屬過濾器。
通風(fēng)氣體過濾器我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾，高效控制多種生命科學(xué)、微電子、食品和飲料及其他應(yīng)用中的污染。
批量氣體過濾器和外殼兼容多種散裝氣體，包括CDA氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氣和氦氣。每個(gè)解決方案都是根據(jù)流量、供應(yīng)壓力和供應(yīng)純度設(shè)計(jì)的。
消除不需要的氧氣：從源頭防止設(shè)備故障（白皮書）
對(duì)于地球上的大部分地區(qū)，氧氣是生命之血。對(duì)于先進(jìn)的半導(dǎo)體和微電子制造工藝來說，氧氣既是盟友也是敵人。在最壞的情況下，它的存在可能導(dǎo)致導(dǎo)致器件失效的柵電極形成缺陷。
例如，在一個(gè)自動(dòng)化的300毫米晶圓廠中，晶圓在通過各種材料處理系統(tǒng)和晶圓處理傳輸機(jī)制的不同工具時(shí)，會(huì)經(jīng)歷600到1000個(gè)工藝步驟。
大量的工藝步驟和多樣的工具為氧誘導(dǎo)缺陷的發(fā)生創(chuàng)造了無數(shù)的機(jī)會(huì)。
增加了暴露于氧氣中的威脅，半導(dǎo)體器件繼續(xù)縮小，制造這些新設(shè)計(jì)變得越來越昂貴且越來越復(fù)雜。結(jié)果，缺陷的風(fēng)險(xiǎn)增加，無謂地危及最終產(chǎn)量，最終危及收入。
如果像預(yù)測(cè)的那樣，依賴半導(dǎo)體技術(shù)的技術(shù)廣泛普及，那么對(duì)芯片的需求量將呈指數(shù)級(jí)增長，從而產(chǎn)生相應(yīng)的潛在缺陷和財(cái)務(wù)影響。
因此，我們相信在這個(gè)由新的電子設(shè)備驅(qū)動(dòng)的世界中，芯片制造商必須優(yōu)先防止諸如不需要的氧氣等污染物進(jìn)入半導(dǎo)體、LED或OLED的制造過程（如圖1所示）。
本文強(qiáng)調(diào)了在先進(jìn)邏輯、LED和OLED電子設(shè)備組件制造過程中，消除基本薄膜沉積過程中氧氣的數(shù)量、流程、科學(xué)和解決方案。
它還解釋說，在可能的情況下，使用設(shè)計(jì)用于去除含氧污染物的凈化產(chǎn)品，提供了有效的第一道防線，以防止設(shè)備故障。
氣體過濾和凈化
在空氣、散裝氣體或特定氣體的過濾和凈化方面，Entegris擁有專業(yè)知識(shí)、技術(shù)和解決方案來滿足您的需求。
無論是用于點(diǎn)對(duì)點(diǎn)氣體輸送還是大規(guī)模氣體供應(yīng)，是在腔室內(nèi)還是在晶圓上，是在潔凈室還是在工具上，Entegris 長期以來一直提供高性能的氣體和空氣凈化及過濾產(chǎn)品，以滿足您的需求。
藏在明處：一種提高氣體純度和減少晶圓缺陷的預(yù)防性維護(hù)策略
AMC 過濾器潔凈室、掃描儀和工藝工具化學(xué)空氣過濾器
空氣和氣體過濾膜疏水MCE膜用于空氣和氣體過濾
氣體過濾器在氣體過程中使用鎳、不銹鋼和PTFE膜技術(shù)進(jìn)行污染控制
氣體擴(kuò)散器快速向大氣排放，不向腔室內(nèi)添加顆粒。
氣體凈化器有各種各樣的材料可以將氣體凈化到十億分之一 (ppt) 的水平。
Wafergard
MAX HT 在線氣體過濾器
在高溫應(yīng)用（高達(dá)200°C）中提供卓越的顆粒過濾。
Wafergard
MAX 在線PTFE氣體過濾器
這些在線PTFE氣體過濾器與高純氣體兼容，并且在超純氣體應(yīng)用以及一般的氮?dú)夂虲DA應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
Wafergard
MAX-1000 在線PTFE氣體過濾器
Wafergard
MAX-1000 在線PTFE氣體過濾器為超純氣體應(yīng)用提供卓越的顆粒過濾。
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Wafergard
II F 微型在線氣體過濾器
卓越的顆粒過濾，用于超純氣體系統(tǒng)的過濾。推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體，Wafergard
II F 微型在線氣體過濾器與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性。
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Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過濾器
這些濾芯適用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體（包括臭氧），在氣體面板、氣體柜以及需要超高純度氣體進(jìn)行晶圓處理的任何地方，它們都能提供卓越的顆粒過濾效果。
Wafergard
GTL 在線氣體過濾器
Wafergard
GTL 在線氣體過濾器專為從惰性氣體中去除顆粒而設(shè)計(jì)，流量高達(dá) 80 slpm。
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Wafergard
SG 氣體過濾器
Wafergard
SG FG 氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾，以最大化光伏電池和顯示屏的制造產(chǎn)量。PTFE 過濾元件與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
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Wafergard
GT-Plus 在線氣體過濾器
Wafergard
GT-Plus在線氣體過濾器可去除惰性氣體中的顆粒，流量高達(dá)30 slpm。
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Linegard
GIGAX-FP 過濾器
具有成本效益的0.0015 µm過濾器，適用于非關(guān)鍵性應(yīng)用中的高流量范圍。
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Linegard
MAX-FP 氣體過濾器
具有成本效益的0.0015 µm過濾器，適用于中流范圍，非關(guān)鍵應(yīng)用。
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Wafergard
II SF 半在線氣體過濾器
Wafergard II SF 半在線氣體過濾器是高純氣體系統(tǒng)中首選的過濾器，特別適用于全不銹鋼結(jié)構(gòu)的應(yīng)用場(chǎng)合。
其先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除材料的揮發(fā)。全金屬結(jié)構(gòu)非常適合高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用。
其緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最佳的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本。
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Wafergard
II SF 微型 XL 在線氣體過濾器
Wafergard
II SF Micro XL 在線氣體過濾器是高純度氣體系統(tǒng)中首選的過濾器，特別適用于所有不銹鋼結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)。
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Gasketgard
在線墊片過濾器
Gasketgard
在線墊片過濾器是一種緊湊型、全金屬過濾器，可替代標(biāo)準(zhǔn)的1/4"、3/8"和1/2" VCR
墊片。
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Wafergard
II SF迷你/迷你XL在線氣體過濾器
Wafergard
II SF Mini 和 Mini XL 在線氣體過濾器是高純氣體系統(tǒng)中首選的過濾器，特別適用于所有不銹鋼結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)。
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Wafergard
II 3XP 在線氣體過濾器
所有不銹鋼氣體過濾器，適用于UHP應(yīng)用，中等流量范圍，最高達(dá)500標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘。
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