氣體過濾器

鎳、不銹鋼、合金-22 和聚四氟乙烯過濾技術(shù)。Entegris超純氣體過濾產(chǎn)品為超純氣體應(yīng)用提供0.0015微米的顆粒過濾。

氣體過濾器在減少氣體箱整體尺寸的同時，使過程氣體的通量更高。

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視頻氣體過濾的歷史Rob Zeller，研究工程師，解釋了什么是氣體過濾器，氣體過濾的歷史，以及它們?nèi)绾伪灰胄枰獓?yán)格清潔規(guī)格以保持生產(chǎn)力和產(chǎn)量的高端半導(dǎo)體芯片制造應(yīng)用中。
其他氣體過濾器Wafergard GN氣體過濾槍是一種易于使用、輕便的POU（使用點）解決方案，用于控制氣體污染。過濾元件是Entegris公司獨家設(shè)計，用于各種半導(dǎo)體工藝。
在線PTFE氣體過濾器我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾，以最小化壓力降并最大化過濾器壽命。可選擇Wafergard和Linegard在線氣體過濾器。
在線不銹鋼氣體過濾器Entegris的在線不銹鋼氣體過濾器專為高壓和高溫應(yīng)用設(shè)計。它們易于安裝，無需進(jìn)行設(shè)計更改。
在線鎳氣過濾器Entegris的超純鎳過濾器是高壓、高溫應(yīng)用中清潔度和效率最高的氣體過濾產(chǎn)品。

表面貼裝氣體過濾器提供不銹鋼或鎳過濾元件，Wafergard 氣體過濾器提供終極過程保護、優(yōu)越的耐腐蝕性和與惰性、氫化物和反應(yīng)性氣體的出色兼容性。

表面貼裝設(shè)計節(jié)省氣體面板的空間，減少零件庫存和差異。我們的表面貼裝氣體過濾器產(chǎn)品組合包括C密封1.125英寸和W密封1.125英寸或1.5英寸格式。

在線合金-22氣體過濾器WafergardIV合金-22（通常以品牌名稱HASTELLOYC-22合金稱呼）過濾器是適用于腐蝕性和超純環(huán)境的最清潔、最高效、全金屬過濾器。 
通風(fēng)氣體過濾器我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾，高效控制多種生命科學(xué)、微電子、食品和飲料及其他應(yīng)用中的污染。

批量氣體過濾器和外殼兼容多種散裝氣體，包括CDA氮氣、氬氣、氧氣、氫氣和氦氣。每個解決方案都是根據(jù)流量、供應(yīng)壓力和供應(yīng)純度設(shè)計的。 

 

 氣體過濾和凈化

在空氣、散裝氣體或特定氣體的過濾和凈化方面，Entegris擁有專業(yè)知識、技術(shù)和解決方案來滿足您的需求。

無論是用于點對點氣體輸送還是大規(guī)模氣體供應(yīng)，是在腔室內(nèi)還是在晶圓上，是在潔凈室還是在工具上，Entegris 長期以來一直提供高性能的氣體和空氣凈化及過濾產(chǎn)品，以滿足您的需求。

藏在明處：一種提高氣體純度和減少晶圓缺陷的預(yù)防性維護策略
AMC 過濾器潔凈室、掃描儀和工藝工具化學(xué)空氣過濾器
空氣和氣體過濾膜疏水MCE膜用于空氣和氣體過濾
氣體過濾器在氣體過程中使用鎳、不銹鋼和PTFE膜技術(shù)進(jìn)行污染控制
氣體擴散器快速向大氣排放，不向腔室內(nèi)添加顆粒。
氣體凈化器有各種各樣的材料可以將氣體凈化到十億分之一 (ppt) 的水平。 

 Wafergard MAX HT 在線氣體過濾器
在高溫應(yīng)用（高達(dá)200°C）中提供卓越的顆粒過濾。
Wafergard MAX 在線PTFE氣體過濾器
這些在線PTFE氣體過濾器與高純氣體兼容，并且在超純氣體應(yīng)用以及一般的氮氣和CDA應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
Wafergard MAX-1000 在線PTFE氣體過濾器
Wafergard MAX-1000 在線PTFE氣體過濾器為超純氣體應(yīng)用提供卓越的顆粒過濾。

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Wafergard II F 微型在線氣體過濾器
卓越的顆粒過濾，用于超純氣體系統(tǒng)的過濾。推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體，Wafergard II F 微型在線氣體過濾器與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性。

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Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器
這些濾芯適用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體（包括臭氧），在氣體面板、氣體柜以及需要超高純度氣體進(jìn)行晶圓處理的任何地方，它們都能提供卓越的顆粒過濾效果。
Wafergard GTL 在線氣體過濾器
Wafergard GTL 在線氣體過濾器專為從惰性氣體中去除顆粒而設(shè)計，流量高達(dá) 80 slpm。

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Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾，以最大化光伏電池和顯示屏的制造產(chǎn)量。PTFE 過濾元件與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。

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Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器
Wafergard GT-Plus在線氣體過濾器可去除惰性氣體中的顆粒，流量高達(dá)30 slpm。

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Linegard GIGAX-FP 過濾器
具有成本效益的0.0015 µm過濾器，適用于非關(guān)鍵性應(yīng)用中的高流量范圍。

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Linegard MAX-FP 氣體過濾器
具有成本效益的0.0015 µm過濾器，適用于中流范圍，非關(guān)鍵應(yīng)用。
  

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Wafergard II SF 半在線氣體過濾器

Wafergard II SF 半在線氣體過濾器是高純氣體系統(tǒng)中首選的過濾器，特別適用于全不銹鋼結(jié)構(gòu)的應(yīng)用場合。

其先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除材料的揮發(fā)。全金屬結(jié)構(gòu)非常適合高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用。

其緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最佳的設(shè)計效率并最大限度地降低了工程成本。

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Wafergard II SF 微型 XL 在線氣體過濾器
Wafergard II SF Micro XL 在線氣體過濾器是高純度氣體系統(tǒng)中首選的過濾器，特別適用于所有不銹鋼結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)。

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Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊片過濾器是一種緊湊型、全金屬過濾器，可替代標(biāo)準(zhǔn)的1/4"、3/8"和1/2" VCR 墊片。

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Wafergard II SF迷你/迷你XL在線氣體過濾器
Wafergard II SF Mini 和 Mini XL 在線氣體過濾器是高純氣體系統(tǒng)中首選的過濾器，特別適用于所有不銹鋼結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)。

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Wafergard II 3XP 在線氣體過濾器
所有不銹鋼氣體過濾器，適用于UHP應(yīng)用，中等流量范圍，最高達(dá)500標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘。